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更新時(shí)間:2024-09-13
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一、效果如圖
wafer硅片晶粒擴(kuò)晶操作前后,切割道距離均勻性和效果,便于后續(xù)操作。
擴(kuò)晶前
擴(kuò)晶后
二、為什么要用擴(kuò)晶機(jī)?
因?yàn)榫ЯG懈畹谰湍敲磳?,分揀某一粒的時(shí)候,有可能會碰到四周的晶粒,那,用到晶圓擴(kuò)晶機(jī)擴(kuò)膜后,后道工序能更好的拾取晶粒,避免相互碰撞,保護(hù)晶粒。
顯微鏡下破損產(chǎn)品
用完擴(kuò)晶機(jī)后,
顆粒間距增大,避免四周碰撞,保護(hù)晶粒。
三、后續(xù)工序適配
固晶機(jī)、分選機(jī)等等
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