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更新時間：2024-07-12
一文讀懂UVC LED 外延設備——MOCVD！
MOCVD，Metal-Organic Chemical Vapor Deposition 的縮寫，中文簡稱“金屬有機化合物化學氣相沉積”，是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。
1968年，北美航空公司（羅克韋爾公司的前身）發(fā)明了MOCVD。早期的MOCVD設備只供內(nèi)部使用，用于在襯底上生長三五族材料，第一臺正式對外銷售的MOCVD系統(tǒng)出現(xiàn)在20世紀80年代。如今，MOCVD已經(jīng)發(fā)展成為市場上幾種沉積技術(shù)的重要成員，LED產(chǎn)業(yè)是MOCVD設備的最大市場。UV LED作為LED產(chǎn)業(yè)重要的一員，其生產(chǎn)制造自然也離不開MOCVD設備。
UV LED MOCVD設備是?周期的供需關(guān)系，從下訂單到交貨的周期一般為6個月-1年，調(diào)試1-2個月。UV LED，特別是深紫外的UVC LED在生長溫度、生長效率、和對鋁組分的有效利用方面對MOCVD設備提出了很高的要求。因此，目前市場也僅有少數(shù)企業(yè)能夠生產(chǎn)UVC LED MOCVD設備。
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